微电子事业部

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少量未处理的灰尘微粒或者气体分子可能严重影响一些工艺流程。

在液晶面板生产过程中,不洁净的空气可能将TFT/LCD生产扼杀于摇篮中。

液晶平板显示工业起步于航空工业发展而来的洁净室技术,在一个污染环境中制成的器件会引起许多问题。在半导体生产中,前沿的生产技术需要洁净度很高的空气,而且这一洁净度要求还在不断提高。

丹德蓝FFU可选配德国EBM马达,配合美国HV滤纸生产的高效过滤器,用于紊流或层流洁净室内,为洁净室输送高洁净度和均匀的气流。丹德蓝 FFU以优秀的品质、高效的性能、完善的系统提供全方位净化空气解决方案。可广泛运用于半导体、电子、平板显示、光伏等各行业,满足客户不同净化等级的要求。